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原子級制造是推進(jìn)新型工業(yè)化的核心“根技術(shù)”，然而卻一直面臨技術(shù)瓶頸。15日，記者從大連理工大學(xué)獲悉，該校科研團(tuán)隊(duì)研發(fā)出國內(nèi)首款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的等離子體工藝腔室仿真平臺（MAPS），在虛擬世界中復(fù)現(xiàn)真實(shí)的制造過程，以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的提前研發(fā)和性能預(yù)判。

大連理工大學(xué)集成電路學(xué)院黨委書記、博士生導(dǎo)師高飛介紹，MAPS可以針對產(chǎn)業(yè)界的原子級制造裝備進(jìn)行全方位仿真，包括外控參數(shù)、裝置幾何結(jié)構(gòu)，MAPS將給出最終演化結(jié)果，從而節(jié)省整個(gè)部件研發(fā)時(shí)間，提高研發(fā)效率。依托大連理工大學(xué)學(xué)科優(yōu)勢，經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)、數(shù)萬次等離子體實(shí)驗(yàn)測試后，目前該技術(shù)已應(yīng)用于拓荊科技、華為等多家集成電路裝備企業(yè)，較國外同類型產(chǎn)品節(jié)約經(jīng)濟(jì)成本15%、節(jié)約時(shí)間成本20%。

大連理工大學(xué)國家重點(diǎn)學(xué)科等離子體物理學(xué)科教授張鈺如說：“團(tuán)隊(duì)和國內(nèi)許多頭部企業(yè)都開展深入合作，建立了校企聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，這意味著學(xué)生在校期間就可以深入企業(yè)參與聯(lián)合技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目，這一模式為相關(guān)產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)更多高精尖緊缺人才?！?/p>

目前，遼寧省將原子級制造納入未來產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)方向，依托重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室群等載體，組織開展原子級制造技術(shù)專題路演推介等活動(dòng)。遼寧省科學(xué)技術(shù)廳副廳長許愛東表示：“遼寧省設(shè)立了未來產(chǎn)業(yè)的科技計(jì)劃，圍繞原子級制造、量子科技、具身智能等方向開展基礎(chǔ)研究和前沿攻關(guān)，將努力形成一批助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展的‘根技術(shù)’加快實(shí)現(xiàn)‘換道超車’。”